EPS防爆片刻痕深度测量仪

EPS-2T刻痕测厚仪是一款微观测厚领域的颠覆性产品，采用白光光谱技术精准定位获得样品表面信息，通过上下同心镜头对被测点的绝对位置，最终获得精准测量数据；设备同时还具备宏观成像导航功能，根据实时图像任意选择被测量，为光谱镜头提供导航及坐标定位。

EPS-2T特点：其是一个微观厚度测量领域的颠覆性产品。已经广泛应用在半导体晶圆的纳米测量以及电池防爆片领域；设备能够快速定位、智能编程、快速测量；在刻痕一圈取尽量多任意数量的点，进行快速自动化测量。数据更具科学性。编程后可最多一次放在15个样品进行批量自动化测量，获取更多批量样品的平均值，数据额更具代表性。

产品能力：

可实现对样品的多点扫描或线扫描及阵列扫描，一次性数据采集后通过专业光谱影像复合软件计算， 实时对厚度测量判定；

本光谱测头系统, 完全非接触式测量，保护工件免受划痕；

全花岗石结构设计，高精度花岗石底座，立柱，保证机器的长期稳定性；

精密丝杠传动，高速，无间隙，灵敏可靠，定位准确，运动精度高；

海康 高分辨率 CCD，高清晰度的影像效果，保证测量时高品质的画面；

伺服闭环控制,鼠标或摇杆操控，全自动 CNC 功能： 自动对焦， 自动量测， 自动寻边，

自动灯光调整，保证测量高效率。

专利多重空间灯光照明系统：在面对某些特殊被测量物时，利用不同光线效果，

能更精准地抓取产品尺寸，达到上光源精准测量时的高重复精度。

技术参数：